特許

J-GLOBAL ID：200903003255320755

無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法

発明者： 紙谷 定勝
出願人/特許権者： カミヤ精機株式会社
代理人 (1件)： 中村 政美 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平2-417798
公開番号（公開出願番号）：特開平5-038668
出願日： 1990年12月21日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】 研磨の際に、加熱による無端研磨ベルト2の劣化を抑えて耐久性を向上させ、被研磨材料Wの加工される断面形状通りに表面研磨を行う。【構成】 外側に無端研磨ベルト2、内側に無端の加熱抑制成形ベルト4の二重構造のベルトにより、被研磨材料Wを 2枚重ねとして無端研磨ベルト2の研磨面に押し付けることにより被研磨材料Wを研磨する。また、被研磨材料Wによって加熱抑制成形ベルト4の断面形状を被研磨材料Wの断面形状に対して接触する雌型状に成形する。【効果】 発生する摩擦熱は無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベルト4とに分散されると共に、凹凸面を有する被研磨材料Wであっても全体を研磨することができる。

請求項（抜粋）：

表面を研磨面として掛巡され回転する無端研磨ベルトと、この無端研磨ベルトの内側に掛巡されて無端研磨ベルトの回転速度と同じか、或いは、それよりも遅く回転すべく配された適宜厚さで無端の加熱抑制成形ベルトと、この加熱抑制成形ベルトの内側から外側に向って押圧して加熱抑制成形ベルトと共に被研磨材料に無端研磨ベルトを押し付けるか、或いは、被研磨材料が無端研磨ベルト及び加熱抑制成形ベルトを介して押し付けられる押圧基体とから構成したことを特徴とする無端研磨ベルトを有する研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 21/00 ,  B24B 21/08 ,  B24B 21/16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭44-023279
  
• 特開昭58-165958