特許

J-GLOBAL ID：200903003270350539

めっき装置およびめっき方法

発明者： 勝山 邦夫 ,  菅野 龍一 ,  伊藤 雅彦 ,  椎名 宏実 ,  門田 裕行 ,  江口 武也
出願人/特許権者： 日立協和エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327101
公開番号（公開出願番号）：特開2001-140099
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】ディップ方式の利点を更に向上させるために、自動化を可能にしてめっき処理作業の生産性(スループット)を向上させ、かつ品質向上,装置の省フットプリント,前工程との連携等が達成できる全自動化されためっき装置およびめっき方法を提供する。【解決手段】めっき槽1内に陽極板25を垂設し、該陽極板に対向して被めっき物4を垂設し、めっき槽の側面部に円形開口部3を設け、該開口部を塞ぐ形態で押付けられ、また該開口部から引き離され、かつ被めっき物を真空保持する基板ステージ5を設け、基板ステージの前記開口部への塞ぎおよび引き離しを行うエアーシリンダー35を設け、被めっき物をめっき槽内側に位置せしめてめっき槽のめっき液に接触せしめるめっきを行う。

請求項（抜粋）：

めっき槽内に陽極板を垂設し、該陽極板に対向して被めっき物を垂設しためっき装置において、めっき槽はその側面部に開口部を有し、該開口部を塞ぐ形態で押付けられ、また該開口部から引き離され、かつ被めっき物を真空保持する基板ステージを有し、基板ステージの前記開口部への塞ぎおよび引き離しを行う押圧装置を有し、被めっき物をめっき槽内側に位置せしめてめっき槽のめっき液に接触せしめることを特徴とするめっき装置。