特許

J-GLOBAL ID：200903003284546509

表面汚染検査装置

発明者： 高橋 求
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182410
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027243
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、スミヤ効率を低下させることなく、広い検査表面を短時間で検査でき、検査の効率の向上を図り得ることを目的とする。【構成】 被検体の表面汚染を検査する表面汚染検査装置において、スミヤ台に載置された被検体の表面を、各々スミヤ採取用部材が装着された複数のスミヤアームでスミヤするスミヤ制御手段と、スミヤアームで取り外された各スミヤ採取用部材から放出される放射線量に基づいて、前記被検体の表面汚染を検査する汚染検査手段と、被検体をスミヤ台まで搬送すると共に、スミヤの終了した被検体を所定の場所へ搬送する搬送制御手段とを備え、汚染検査手段がスミヤの終了した被検体の表面汚染を検査している間にスミヤ制御手段が次の被検体をスミヤすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検体の表面汚染を検査する表面汚染検査装置において、スミヤ台に載置された被検体の表面を、各々スミヤ採取用部材が装着された複数のスミヤアームでスミヤするスミヤ制御手段と、前記スミヤアームから取り外された各スミヤ採取用部材より放出される放射線量に基づいて、前記被検体の表面汚染を検査する汚染検査手段と、被検体を前記スミヤ台まで搬送すると共に、スミヤの終了した被検体を所定の場所へ搬送する搬送制御手段とを備え、前記汚染検査手段が前記スミヤの終了した被検体の表面汚染を検査している間に、前記スミヤ制御手段が次の被検体をスミヤすることを特徴とする表面汚染検査装置。