特許

J-GLOBAL ID：200903003287194115

E-ビームレジスト用の塩基現像可能な放電トップ層

発明者： ウー-ソン・ホワン ,  ラニー・ダブリユー・クウオン ,  ジエラルド・ジヨゼフ・ロス ,  ハーバンズ・エス・サクデブ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259348
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226238
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 水性塩基可溶性の導電性ポリマーを、電気的帯電を消失させるために利用することと、これにより荷電粒子ビームを含む方法の精度を改善することに関する。【構成】 電気伝導性の官能化ポリマーとしてポリアニリン、ポリパラフェニルビニレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリ-p-フェニレンオキサイド、ポリフラン、ポリフェニレン、ポリアジン、ポリセレノフェン、ポリフェニレンサルファイドおよびポリアセチレンを用いる荷電粒子ビームからの蓄積された電荷を消失させるための組成物と、ポリ(ヒドロキシアニリン)とポリチオフェンの合成方法と、水性塩基可溶性の導電性フィルムを調製するための方法が述べられている。

請求項（抜粋）：

置換および未置換のポリパラフェニルビニレン、ポリアニリン、ポリアジン、ポリチオフェン、ポリ-p-フェニレンサルファイド、ポリ-p-フェニレンオキサイド、ポリフラン、ポリピロール、ポリセレノフェンおよびポリアセチレンからなる群より選ばれた電気伝導性で、水性塩基可溶性のポリマーまたはオリゴマーの15〜100%を包含する、荷電粒子ビームからの蓄積された電荷を消失させるための組成物。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/20 504

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-132122
  
• 特開平2-039156
  
• 特開平2-245755
  
• 特開平3-119718