特許
J-GLOBAL ID：200903003289591472
マイクロ波プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-074800
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283194
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 効率よくプラズマ密度を高くすることができ、保守等に手間を要しないマイクロ波プラズマ発生装置を提供する。【構成】 放電容器21に取着された導波管31の接続管部32が曲管状で、他端に真空窓34が設けられ、その内部が放電容器21内より低圧力に維持されるように構成されていることにより、放電容器21に連通して同じ雰囲気状態となっている接続管部32の内部では、放電容器21内にプラズマが生成される状態であっても放電容器21内より低圧力であるためプラズマが生成されず、導波管31内のマイクロ波の伝送が妨げられることがなく、真空窓34はプラズマを直視しない位置に設けられているので、放電容器21内のプラズマに晒されたり、プラズマの熱の影響を受けず、損傷を受けたり汚染されたりすることがない。
請求項（抜粋）：
内部が減圧された放電容器と、この放電容器内に区画された所定ガスのプラズマが形成されるプラズマ閉じ込め空間と、このプラズマ閉じ込め空間にマイクロ波を導入するように前記放電容器に片端部が取着された導波管とを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、前記導波管は、前記放電容器に取着された片端部近傍内部が前記放電容器内より低圧力に維持されていることを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, H01L 21/302
