特許

J-GLOBAL ID：200903003304218368

スパッタリングタ-ゲット用バッキングプレ-ト及びスパッタリングタ-ゲット/バッキングプレ-ト組立体

発明者： 岡部 岳夫 ,  福世 秀秋
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 藤吉 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-054222
公開番号（公開出願番号）：特開平11-236665
出願日： 1998年02月20日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【目的】 ハイパワースパッタリングなどの高温環境においても変形が少なく、熱伝導率にも優れたバッキングプレート材料を提供する。【構成】 0.2%耐力が200MPa以上を有するCu合金からなることを特徴とするスパッタリングターゲット用バッキングプレート及び該バッキングプレートとスパッタリングターゲットとを接合させてなる組立体。好ましくは、Crを0.7〜1.2wt%含有し、Al,Mg,S,K,Ca,Fe,Ni,As,Ag,Sb,Biから選択される成分の合計含有量が1wt%以下で残部CuであるCu合金をバッキングプレートとして用いて、該バッキングプレートとスパッタリングターゲットとを固相接合させることにより組立体とする。

請求項（抜粋）：

0.2%耐力が200MPa以上を有するCu合金からなることを特徴とするスパッタリングターゲット用バッキングプレート。

FI (2件)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/34 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-079734
  
• 特許第2501275号
  
• 特開平3-079734
  
• 特許第2501275号