特許
J-GLOBAL ID:200903003312138934

圧電型2軸角速度センサの温度補正回路

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-103485
公開番号(公開出願番号):特開平11-281371
出願日: 1998年03月30日
公開日(公表日): 1999年10月15日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】2軸の角速度の検出が出来る小型軽量で温度特性が良く安価で信頼性の高い圧電型2軸角速度センサを得る。【解決手段】 板状の振動体を有し1、振動体の表面に板状の圧電素子2を貼付し、圧電素子には少なくとも検出用電極と励振用電極を形成し、重錘体を有した圧電型2軸角速度センサの温度補正回路において、増幅反転回路40を構成する感温素子が温度変化に応じた出力感度の変動を打ち消す方向に駆動回路の駆動電圧を変化させることによってコリオリ力を補正する。
請求項(抜粋):
板状の振動体を有し、該振動体の表面に板状の圧電素子を貼付し、該圧電素子には少なくとも検出用電極と励振用電極を形成し、重錘体を有した圧電型2軸角速度センサの温度補正回路において、温度変化に応じた出力感度の変動を打ち消す方向に駆動回路の駆動電圧を感温素子によって補正することを特徴とする圧電型2軸角速度センサの温度補正回路。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G03B 5/00 G

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