特許
J-GLOBAL ID：200903003320490752
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303672
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159419
出願日： 1993年12月03日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】制御偏差を所望の許容偏差値以下に保持させることによって、高精度な測定値を得ることが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】試料2の表面に沿って走査される探針4と、この探針の変位又は探針と試料との間を流れるトンネル電流を検出する検出器6と、この検出器から出力された検出信号に基づいて探針の変位を制御する制御回路8と、この制御回路から出力された制御信号に基づいて探針を動作させる駆動素子10と、探針を試料表面の沿って相対的に走査させるスキャナ12と、このスキャナを制御する走査制御回路14と、制御回路から出力された制御信号を時系列的に記憶するデータ取込み回路16と、制御回路から出力された制御偏差信号S1に基づいて、走査制御回路及びデータ取込み回路を作動制御する制御偏差判定回路18と、データ取込み回路に記憶されたデータを表示する表示器20とを備えている。
請求項（抜粋）：
試料の表面に沿って走査される探針と、この探針の変位又は前記探針と前記試料との間を流れるトンネル電流を検出する検出器と、この検出器から出力された検出信号に基づいて前記探針の変位を制御する制御回路と、この制御回路から出力された制御信号に基づいて前記探針を動作させる駆動素子と、前記探針を前記試料の表面の沿って相対的に走査させるスキャナと、このスキャナを制御する走査制御回路と、前記制御回路から出力された制御信号を時系列的に記憶するデータ取込み回路と、前記制御回路から出力された制御偏差信号の値が所定の許容偏差値以下に収束維持されるまで走査を停止させておくように、走査制御回路及びデータ取込み回路に対する作動制御可能な制御偏差判定回路とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
