特許
J-GLOBAL ID：200903003325669181
振動子の製造方法とその製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-194268
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041771
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 本発明は振動子の製造方法とその製造装置に関するもので、振動子の歩留まりを向上させることを目的とする。【解決手段】 複数の振動部7を有する大板状の振動板22の複数の振動部7の厚み、あるいは発振周波数を測定し、次に振動板22の特定の振動部7部分を第1レジストで覆い、その後第1のレジストの非被覆部のエッチングを行う。
請求項（抜粋）：
複数の振動部を有する大板状の振動板の複数の振動部の厚み、あるいは発振周波数を測定し、次に振動板の特定の振動部部分を第1レジストで覆い、その後第1のレジストの非被覆部のエッチングを行う振動子の製造方法。
FI (2件)：
H03H 3/02 C
, H03H 3/02 A
