特許
J-GLOBAL ID：200903003326079019
純水または超純水の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165472
公開番号（公開出願番号）：特開平8-024852
出願日： 1994年07月18日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【目的】 シリカリークのない純水又は超純水製造装置を提供する。【構成】 イオン交換装置の後段にシリカ計を設け、その測定値からイオン交換装置の交換時期を決定する。
請求項（抜粋）：
陰イオン交換樹脂が少なくとも充填された複数の直列に接続されたイオン交換塔からなるイオン交換装置と、前記イオン交換装置の最前段のイオン交換塔の処理水中のシリカ濃度を監視するシリカ計とを有する純水または超純水の製造装置であって、前記イオン交換装置が前記最前段のイオン交換塔の処理水中のシリカ濃度が所定値に達する毎に最前段のイオン交換塔を再生して最後段に配置するか、叉は最前段のイオン交換塔を除くと共に最後段のイオン交換塔の後段にイオン交換樹脂を再生した新たなイオン交換塔を連結する方式のものであることを特徴とする純水または超純水の製造装置。
IPC (5件)：
C02F 1/42
, B01J 41/04
, B01J 47/02
, B01J 49/00
, C02F 1/00
