特許

J-GLOBAL ID：200903003326704304

圧電式アクチュエータ及び液体吐出ヘッド

発明者： 菊池 広実 ,  加賀 洋一郎 ,  渡辺 純一
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-102649
公開番号（公開出願番号）：特開2003-298132
出願日： 2002年04月04日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 圧電歪定数を向上させて、小型で高い階調度を維持したまま高速印字が可能な圧電式アクチュエータ及びこれを用いた液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】 所定のピッチで配列された複数の吐出液室と、前記各吐出液室に設けられてこれに吐出液を供給するための吐室液供給口と、前記各吐出液室を区画する一側壁に設けられた噴射ノズル孔と、前記各吐出液室の他の一側面を区画するように設けた振動板と、前記各振動板に設けられた圧電式アクチュエータを備える液体吐出ヘッドで、前記圧電式アクチュエータは圧電膜の両面に電極を備え、前記圧電膜の組織の結晶粒径Dが、0.1μm≦D≦5μmの範囲内である。

請求項（抜粋）：

圧電膜の両面に電極を備える圧電式アクチュエータで、前記圧電膜の組織の結晶粒径Dが、0.1μm≦D≦5μmの範囲内であることを特徴とする圧電式アクチュエータ。

IPC (7件)：

H01L 41/08 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H01L 41/08 D ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/08 C

Fターム (8件)：

2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP51 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14