特許

J-GLOBAL ID：200903003327270227

プリアライメント装置

発明者： 前川 一浩
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196425
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026558
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 CCDセンサを使用して信号を検出する場合に、信号検出時間を短縮できるプリアライメント装置を提供する。【解決手段】 光電変換部9aと電荷転送部9bからなるCCDセンサ9及び該CCDセンサ9に光を照射する光源13を有するプリアライメント装置1であって、前記CCDセンサ9の信号出力部から遠い側に設けられた、該光源から照射される光の一部を遮る遮光部11と、該CCDセンサ9の遮光部11以外の部分に蓄積された信号を読み出した後、該遮光部11の信号の読み出しを行うことなく前記光電変換部9aに蓄積された信号を前記電荷転送部9bに転送することにより、前記光電変換部9aの信号検出を更新するように該CCDセンサ9を駆動させる駆動手段25と、を具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光電変換部と電荷転送部からなるCCDセンサ及び該CCDセンサに光を照射する光源を有するプリアライメント装置であって;前記CCDセンサの信号出力部から遠い側に設けられた、該光源から照射される光の一部を遮る遮光部と、該CCDセンサの遮光部以外の部分に蓄積された信号を読み出した後、該遮光部の信号の読み出しを行うことなく前記光電変換部に蓄積された信号を前記電荷転送部に転送することにより、前記光電変換部の信号検出を更新するように該CCDセンサを駆動させる駆動手段と、を具備することを特徴とするプリアライメント装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/148 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  G01N 21/27

FI (6件)：

H01L 21/68 F ,  H04N 5/335 Z ,  G01N 21/27 A ,  H01L 21/30 520 A ,  H01L 27/14 B ,  H01L 27/14 D