特許

J-GLOBAL ID：200903003349578560

研磨装置

発明者： 村松 康彦 ,  樋口 治雄
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300656
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138529
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】【目的】 研磨抵抗に基づいて研磨を行うことにより、1台で粗研磨から仕上研磨までをまかなうことができる研磨装置を提供することを目的とする。【構成】 ラップテーブル上に加工対象物を載せ、ラップテーブルの回転駆動に伴って加工対象物と載置面を擦り合わせて研磨を行う研磨装置において、ダイレクト・ドライブ・モータでラップテーブルを回転駆動する。そして、ダイレクト・ドライブ・モータのコイルに供給する励磁電流からモータの出力トルクを検出し、この出力トルクから研磨抵抗を検出し、研磨抵抗に基づいて研磨加工を制御する。

請求項（抜粋）：

モータによって回転駆動されるラップテーブル上に加工対象物を載せ、ラップテーブルの回転駆動に伴って前記加工対象物をラップテーブルの載置面と擦り合わせ、擦り合わせられる部分で研磨加工を行う研磨装置において、ダイレクトドライブモータで前記ラップテーブルを回転駆動するとともに、前記ダイレクトドライブモータのコイルに供給される励磁電流をもとにモータの出力トルクを検出するトルク検出手段と、検出した出力トルクからモータにかかる研磨抵抗を検出する研磨抵抗検出手段と、検出した研磨抵抗に基づいてダイレクト・ドライブ・モータを制御する制御部と、を具備したことを特徴とする研磨装置。