特許
J-GLOBAL ID：200903003350044080

感光性樹脂組成物

発明者：
大池 拓郎

大池 拓郎 について

, 
山本 祐介

山本 祐介 について


出願人/特許権者：
三洋化成工業株式会社

三洋化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-199279
公開番号（公開出願番号）：特開2009-036858
出願日： 2007年07月31日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：
【課題】 アルカリ現像性が良好であり、かつ、感度および解像度に優れたフォトスペーサ用感光性樹脂組成物感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 芳香族エポキシ樹脂を変性してなる(メタ)アクリロイル基及びカルボキシル基を含有する親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、ヒンダードフェノール構造を有する化合物(C)、及び光ラジカル重合開始剤(D)を含有するアルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)を使用する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
芳香族エポキシ樹脂を変性してなる(メタ)アクリロイル基及びカルボキシル基を含有する親水性樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、ヒンダードフェノール構造を有する化合物(C)、並びに光ラジカル重合開始剤(D)を含有するアルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)。
IPC (6件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  G02F 1/133 ,  C08F 290/14 ,  G03F 7/20
FI (7件)：
G03F7/027 515 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  G02F1/1339 500 ,  C08F290/14 ,  G03F7/20 501
Fターム (55件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC43 ,  2H025BC74 ,  2H025CA03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H089LA09 ,  2H089MA07X ,  2H089NA14 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14 ,  2H097FA02 ,  2H097FA06 ,  2H097LA12 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC141 ,  4J127BD201 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CC091 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127DA21 ,  4J127EA01 ,  4J127FA00 ,  4J127FA17
引用特許：
出願人引用 (2件)

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