特許

J-GLOBAL ID：200903003363358556

薄膜半導体装置

発明者： 田沼 盟子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051609
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250738
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 配線がさらに狭ピッチ化しても、正確かつ迅速な配線の断線及び短絡の全数検査を可能とし、さらにはその配線不良の箇所や不良の種類の特定化も可能である検査手段を備えた薄膜半導体装置を提供する。【構成】 TFT101上を、そのTFT101のサイズおよび配線ピッチに応じた大きさのスポット光で走査する。例えばTFT101を、sl1 、sl2 ...のように順に走査していくと、各々の検査用TFT101には光電流が流れて、その電流の大きさによって配線の断線・ショートが検出される。従来の方式では、配線本数の 2倍の検査用パッドが必要であったが、本発明によれば僅か 6個の検査用パッドで検査対象となる配線の断線・ショート検査を全数行なうことが可能である。

請求項（抜粋）：

絶縁透明基板に配列形成された複数本の第1の配線と、該第1の配線に交差して配列形成された複数本の第2の配線と、前記第1の配線と前記第2の配線とが交差して形成する交差部ごとに配置され前記第1の配線および前記第2の配線に接続されて動作を制御される能動素子とを有する薄膜半導体装置において、前記能動素子の他に、前記第1の配線および前記第2の配線の少なくともいずれか一方のうち少なくとも 1本の配線の一部に介挿されたスイッチング素子であって、光が照射されると電気的に応答して動作状態となる半導体層を備えたスイッチング素子と、前記スイッチング素子が接続されている配線の両端にそれぞれ接続された接続パッドであって、外部から検査用電圧が印加されて、前記半導体層に光が照射されているときには前記スイッチング素子が導通状態となって前記配線の導通状態を検知する接続パッドと、を具備することを特徴とする薄膜半導体装置。

IPC (2件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 29/78 624 ,  H01L 21/66 S

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-246726
  
• 特開昭63-246726