特許
J-GLOBAL ID:200903003363982497

超音波探傷装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-018702
公開番号(公開出願番号):特開平6-229991
出願日: 1993年02月05日
公開日(公表日): 1994年08月19日
要約:
【要約】【目的】 超音波探傷装置で位相変化量を検出し、試料表面の形状変化を精度よく検出すること。【構成】 探触子1と、電圧制御型発振器2Aと、分周回路A3および分周回路B4と、RFスイッチ5と、増幅器6と、乗算器7と、サーキュレータ8と、ローパスフィルタ9と、A/D変換器10と、演算装置11Aと、位置決め装置12と、入力装置13と、D/A変換器14とを備え、2種類以上の周波数で演算した位相差の差分によって位相変化量を検出することで、分解能を高めるとともに、位相変化量の不連続をなくすことを特徴とする超音波探傷装置。
請求項(抜粋):
試料に対し超音波信号を照射するとともに前記試料からの反射信号を検出する探触子と、この探触子を励振させるための信号を出力する発振手段と、この発振手段からの信号を前記探触子へ所定の周期で出力する励振手段とを備えた超音波探傷装置において、前記発振手段からの信号に対し所定量ずつ位相を変えて前記励振手段へ出力する位相シフト手段と、所定量ずつ位相を変えた前記励振手段からの信号を試料に照射して前記探触子で検出された反射信号と前記発振手段からの信号とをかけ合わせる乗算器と、この乗算器からの信号を入力し所定の周波数以上の周波数成分を除去する濾過手段と、前記発振手段を少なくとも2種類の周波数で発振させたときにそれぞれ得られる前記濾過手段の出力信号の差分を求める演算手段とを備えたことを特徴とする超音波探傷装置。

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