特許

J-GLOBAL ID：200903003364184268

ドライエッチングの終点検出方法と終点条件の自動決定方法

発明者： 早田 博 ,  住田 賢二 ,  牧野 隆元
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080497
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295883
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】 半導体製造工程の一つであるプラズマなどを利用したドライエッチングにおいて処理時に発生する光の発光強度変化を検出して処理の終点を検出するに際し、終点検出条件を自動的に決定し、しかもチャンバ内の雰囲気変化による波形の変形や突発ノイズがある場合でも正確に終点を検出するドライエッチングの終点検出方法を提供することを目的とする。【構成】 終点検出条件を決定するためにモニタされた光の発光強度対時間のグラフ上に終点を指示されたとき時間軸と終点までのグラフで囲まれた形を終点検出条件とし、終点を検出すべくモニタしている光に対しては発光強度対時間のグラフにおいて時間軸と現時点までのグラフで囲まれた部分の形と終点検出条件の形がパターンマッチした時点を終点とする終点検出方法。

請求項（抜粋）：

ドライエッチング等の処理時に発生する光の発光強度変化を検出して処理の終点を検出する終点検出方法であって、前記発光強度を短いサンプリングタイムにて順次モニタすると共にその波形の大域的な性質を捉えて終点を検出するドライエッチングの終点検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/302 ,  C23F 4/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-269316
  
• 特開平2-296325
  
• 特開昭63-211633
  
• 特開平4-134820