特許

J-GLOBAL ID：200903003370249410

投影露光装置

発明者： 馬込 伸貴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-310000
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163349
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 位相シフター、又は半透明部材で形成されたアライメントマークの位置を検出可能とする。【構成】 レチクルR上のアライメントマークRY1 から発生する光を受光する光電検出器20の受光面近傍に可変開口絞り18を配置する。この受光面はレチクルRのパターン面とフーリエ変換の関係で結ばれている。主制御系15は、アライメントマークの種類(材質、ピッチ等)に応じて可変開口絞り18を駆動する。

請求項（抜粋）：

第1照明光をマスクに形成されたパターンに照射する照明系と、前記マスクのパターンの像を基板上に結像投影する投影光学系と、前記マスクに形成された基準マークに第2照明光を照射し、前記基準マークから発生する光を受光するマーク検出手段とを備えた投影露光装置において、前記マーク検出手段は、前記基準マークから発生する光を光電検出器に導く受光光学系と、該受光光学系中の前記基準マークに対するフーリエ変換面、もくしはその近傍面内に配置される可変開口絞りとを有し;前記基準マークの種類に応じて前記可変開口絞りの開口径、及び/又は開口位置を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521