特許
J-GLOBAL ID：200903003374268532
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216648
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041422
出願日： 1991年08月03日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】被検査体にプローブカードの触針を接触させて電気的特性を測定するプローブ装置において、装置の小型化、検査の信頼性の向上及び被検査体への微細塵等の付着を防止する。【構成】プローブ装置本体4に、プローブカード2及びプローブカード2の上方においてウエハ1を下向きに保持するウエハ保持手段3を配設する。テストヘッド8をプローブ装置本体4の下部側に設けられた空間9内に収容すべくプローブ装置本体4に対して移動可能に形成する。プローブカード2とテストヘッド8とを接続することにより、ウエハ1の電極パッドに接触した触針5からの検出情報に基いてウエハ1の電気的特性を測定する。
請求項（抜粋）：
被検査体の電極パッドにプローブカードの触針を接触させて、上記被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、上記プローブカード及びこのプローブカードの上方において上記被検査体を下向きに保持する被検査体保持手段を有するプローブ装置本体と、上記プローブカードに接続して上記触針との間での電気情報の交換を行うと共に、その出力信号をテスタに伝達するテストヘッドとを具備し、上記テストヘッドを、上記プローブカードの下方に接続すべく上記プローブ装置本体に対して移動可能に形成してなることを特徴とするプローブ装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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