特許
J-GLOBAL ID：200903003376080700
マイクロジャイロ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270482
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122867
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 振動片の振動が制約されず、かつ、静電力による支えバネの吸着力を効率良く利用できるマイクロジャイロの提供。【解決手段】 駆動電極3を支えバネ2に接近させて設け、静電力を有効に利用して支えバネ2と振動片1をより強く振動させることができ、かつ、共振状態でも支えバネ2と接触しない構造。
請求項（抜粋）：
一端部が基板に固定された支えバネの他端部に、前記基板の表面から所定距離離れた上方に位置する振動片を振動可能に支え、前記振動片を駆動電極によって前記基板の表面と平行に振動させ、前記振動片と前記基板の表面との対向間隔の変化を検出電極によって静電容量の変化として検出するマイクロジャイロにおいて、前記支えバネは、前記一端部と前記他端部との間の中間部が前記基板の表面から所定距離離れた上方に位置し、前記駆動電極を前記支えバネの中間部との対向位置に配備し、該駆動電極によって前記支えバネを前記基板の表面と平行に振動可能としたことを特徴とするマイクロジャイロ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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