特許

J-GLOBAL ID：200903003385483753

光リソグラフィ-用石英ガラス、それを含む光学部材、 それを用いた露光装置、並びにその製造方法

発明者： 平岩 弘之 ,  神保 宏樹 ,  小峯 典男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-000808
公開番号（公開出願番号）：特開平8-259255
出願日： 1996年01月08日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 短波長でかつ高出力の紫外線やエキシマレーザ光を長期間照射しても透過率の低下を生じさせない、耐紫外線性の向上した石英ガラス光学部材を提供する。【解決手段】 400nm以下の波長帯域の光と共に使用される光リソグラフィー用石英ガラスであって、構造決定温度が1200K以下でかつOH基濃度が1000ppm以上である石英ガラス。

請求項（抜粋）：

400nm以下の波長帯域の光と共に使用される光リソグラフィ-用石英ガラスであって、構造決定温度が1200K以下でかつOH基濃度が1000ppm以上であることを特徴とする石英ガラス。

IPC (5件)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00

FI (5件)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 19/14 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00