特許

J-GLOBAL ID：200903003386962698

カラーフィルターの製造方法

発明者： 石渡 和也 ,  吉岡 利文
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055990
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224015
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 フォトリソ工程におけるガラス基板表面に残った着色樹脂の残渣を完全に除去し、生産効率を向上させたカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 透明な感光性樹脂中に少なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を基板上に塗布し、加熱して仮硬化した後、フォトリソ工程における露光、現像を行い、次いで再度加熱し本硬化してカラーフィルターを製造する方法において、前記本硬化工程の後に、基板表面に大気中にて5〜20J/cm2 の紫外線を照射し、現像工程で基板表面に残った残渣を除去するカラーフィルターの製造方法。

請求項（抜粋）：

透明な感光性樹脂中に少なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を基板上に塗布し、加熱して仮硬化した後、フォトリソ工程における露光、現像を行い、次いで再度加熱し本硬化してカラーフィルターを製造する方法において、前記本硬化工程の後に、基板表面に大気中にて5〜20J/cm2 の紫外線を照射し、現像工程で基板表面に残った残渣を除去することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-298242
  
• 特開昭61-163011
  
• 特開昭63-155105