特許
J-GLOBAL ID：200903003387455927

基板検査装置及び基板検査方法

発明者：
山下 宗寛

山下 宗寛 について


出願人/特許権者：
日本電産リード株式会社

日本電産リード株式会社 について


代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  植木 久一 ,  伊藤 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-288177
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055369
出願日： 2003年08月06日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】 互いに絶縁状態になるよう形成された第1、第2の配線パターン群を備えた基板において、第1、第2の配線パターン群間で生じた短絡不良の発生している領域を検出する。【解決手段】 基板101を構成するパッケージ基板WC毎に、第1の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点と第2の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点との間に所定の測定用電流を流す電流生成部5と、その間に生じた電圧を測定する電圧測定部6と、その測定された電圧と測定用電流値とに基づいて4端子測定法により当該検査点間の抵抗値を測定すると共に、測定された検査点間の抵抗値に基づいて基板101を構成するパッケージ基板WCのうち第1の配線パターン群と第2の配線パターン群との間に短絡が生じているパッケージ基板WCを検出する制御部12とを備えた。【選択図】 図1
請求項１：
基板の一方の表面に形成された第1の短絡用配線パターンに接続された複数の配線パターンからなる第1の配線パターン群と、前記基板の他方の表面に形成された第2の短絡用配線パターンに接続されると共に、前記第1の配線パターン群とは絶縁されるべく形成された複数の配線パターンからなる第2の配線パターン群とを有する基板を検査する基板検査装置であって、 前記基板上に複数の検査領域を設定し、当該検査領域毎に、前記第1の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点と前記第2の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点との間の抵抗値を測定する抵抗測定部と、 前記抵抗測定部によって測定された抵抗値に基づいて、前記複数の検査領域のうち前記第1の配線パターン群と前記第2の配線パターン群との間に短絡が生じている検査領域を検出する判定部とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
G01R31/02 ,  H05K3/00
FI (2件)：
G01R31/02 ,  H05K3/00 T
Fターム (3件)：
2G014AA03 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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