特許
J-GLOBAL ID:200903003388640930

走査プローブデータを用いた遠視野像の逆畳み込み演算

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-598839
公開番号(公開出願番号):特表2002-536696
出願日: 2000年02月14日
公開日(公表日): 2002年10月29日
要約:
【要約】回折限界を超えて遠視野光学像を逆畳み込み演算(デコンボルーション)する方法は、近視野光学および他の走査プローブ撮像データを使用し、遠視野データ組のデコンボルーションに対して強力で新しい拘束条件を提供する。原子間力顕微鏡から遠視野データ組の領域において、積分型で交差指型の方法によって得られるような近視野データは、使用するレンズの回折限界を超えた分解能を得るために使用される。非線形光学撮像や他の顕微鏡の場合は、これらの顕微鏡で達成できる程度を超えた分解能を得ることができる。
請求項(抜粋):
超分解能走査プローブ顕微鏡データ組からの各ピクセルまたはボクセルが遠視野データ組における像のピクセルまたはボクセルに直接関係するように、共焦点または電荷結合素子の撮像態様とともに交差指型で積分型の態様で走査プローブ顕微鏡データを導入し、そして数学的拘束条件として走査プローブデータを使用して、遠視野像を逆畳み込み演算することによって、以前では達成できなかった分解能レベルにまで遠視野光学顕微鏡像を逆畳み込み演算する方法。
IPC (5件):
G02B 21/36 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/14 ,  G01N 13/16 ,  G02B 21/00
FI (5件):
G02B 21/36 ,  G01N 13/10 F ,  G01N 13/14 A ,  G01N 13/16 A ,  G02B 21/00
Fターム (3件):
2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AF25
引用文献:
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