特許
J-GLOBAL ID:200903003390899445

光ファイバを用いた変位検出方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 栗原 聖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-267641
公開番号(公開出願番号):特開平11-063939
出願日: 1997年08月26日
公開日(公表日): 1999年03月05日
要約:
【要約】【課題】 センサの構造やその測定システムが簡便な上に種々の微小な変位を安定的に確認できる変位検出方法及び装置を提供すること。【解決手段】 ゲージベース113と、ゲージベース113の長さ方向に沿って相互に所定の間隔だけ離間してそれぞれ固定された第1及び第2のフェルール111及び112と、第1のフェルール111と固定された第1の光ファイバ101と、第2のフェルール112と固定された第2の光ファイバ102とを備え、第1及び第2の光ファーイバ101及び102は、第1のフェルール111内部において、ゲージベース113の長さ方向に沿った変位に伴い相互の端面間隔diが変化するように接続されている。
請求項(抜粋):
接続部の変位に伴い接続損失が変化するように接続された第1及び第2の光ファイバを有するセンシング部と、前記第1の光ファイバの非接続端側から光を入射する光入射部と、前記第2の光ファイバの非接続端側から出射される光量を計測する光量計測部とを備え、前記光入射部から前記第1の光ファイバに光を入射し、前記センシング部における前記接続部の変位に伴う接続損失の変化に基づき、前記光量計測部が前記第2の光ファイバの前記非接続端側から出射される光量の変化を検出し、該光量の変化を用いて前記センシング部における前記接続部の変位を算出することを特徴とする光ファイバを用いた変位検出方法。
IPC (3件):
G01B 11/14 ,  G01L 1/24 ,  G02B 6/00
FI (3件):
G01B 11/14 Z ,  G01L 1/24 ,  G02B 6/00 B

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