特許
J-GLOBAL ID：200903003400700308
X線分析用試料調整方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328003
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160208
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 酸化膜の溶解中における分解液への雰囲気中の不純物の混入を防止するとともに、被分析材から分解液を容易に引き離すことができ、かつ、分解液の乾燥において分解液中の不純物が減少したり分析用の所定の位置から試料がずれたりすることなく、さらに、分析精度が向上するX線分析用試料調整方法および装置を提供する。【解決手段】 試料調整は、分解液保持部材4の上面に形成された保持部41に被分析材2の下面の付着物質21を溶解する分解液3を保持させた状態で、この分解液3を前記被分析材2の下面に接触させ、分解液保持部材4と被分析材2とを被分析材2の下面に平行な平面方向に相対移動させることにより付着物質21を分解液3に溶解させ、分解液3を保持した分解液保持部材4を被分析材2の下面から引き離し、分解液3を分解液保持部材4の保持部41で濃縮または乾燥させることによりX線分析用の試料を調整する。
請求項（抜粋）：
分解液保持部材の上面に形成された保持部に被分析材の下面の付着物質を溶解する分解液を保持させた状態で、この分解液を前記被分析材の下面に接触させ、前記分解液保持部材と前記被分析材とを前記被分析材の下面と平行な平面方向に相対移動させることにより前記下面の付着物質を前記分解液に溶解させ、前記分解液を保持した前記分解液保持部材を前記下面から引き離し、前記分解液を、前記分解液保持部材の保持部に保持した状態で、濃縮または乾燥させることによりX線分析用の試料を調整するX線分析用試料調整方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 1/28 X
, G01N 23/223
