特許
J-GLOBAL ID：200903003421820702
処理ガス供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171447
出願日： 1991年12月14日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】[目的]処理ガスが流れる配管内で発生した液滴その他のパーティルを排出・除去して、清浄な処理ガスを処理部へ供給する。[構成]HMDSガス供給管40には、タンク2に近い管路位置に第1の切換バルブ42が設けられるとともに、処理装置22に近い管路位置に第2の切換バルブ44が設けられている。第1の切換バルブ42には、N2 ガス源48より換気用ガスとしてのN2 ガスを供給するN2 ガス供給管50が接続されている。第2の切換バルブ44には排気管58が接続され、この排気管58の他端は除去装置(図示せず)に接続されている。HMDSガス供給管40内を換気・浄化するとき、第1の切換バルブ42はN2 ガス供給管50側に切り換えられ、第2の切換バルブ44は排気管58側に切り換えられる。
請求項（抜粋）：
処理ガスを配管を介して処理部へ供給するようにした処理ガス供給装置において、前記配管に換気用ガスを供給するためのガス供給手段と、前記配管内のガスを排気するための排気手段と、前記配管の第1の管路位置に設けられ、前記ガス供給手段に接続された第1の切換弁と、前記配管の第2の管路位置に設けられ、前記排気手段に接続された第2の切換弁と、を具備したことを特徴とする処理ガス供給装置。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, B08B 9/06
, H01L 21/027
