特許
J-GLOBAL ID：200903003422136694
精密切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-335079
公開番号（公開出願番号）：特開平8-174416
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ブレードを装着した切削ユニットに熱歪が生じたとしても、ブレードの摩耗量を正確に検出出来るようにした、精密切削装置を提供する。【構成】 被加工物を保持するチャックテーブルと、回転ブレード1を含む切削ユニット14と、回転ブレードの位置を検出する位置検出センサ2とを少なくとも含む精密切削装置において、前記切削ユニットの所要位置に前記位置検出センサによって検出される被検出片16が配設されている。被検出片はブレードに隣接して配設される。被検出片とブレードとを位置検出センサが検出することでブレードの摩耗量を検出する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、回転ブレードを含む切削ユニットと、回転ブレードの位置を検出する位置検出センサとを少なくとも含む精密切削装置において、前記切削ユニットの所要位置に前記位置検出センサによって検出される被検出片が配設されている、ことを特徴とする精密切削装置。
IPC (4件)：
B24B 49/12
, B24B 27/06
, B28D 5/02
, H01L 21/301
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 Q
