特許
J-GLOBAL ID：200903003428169101
レビュー装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270944
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097871
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】欠陥・異物の種類特定作業の容易化。【解決手段】本発明は、欠陥あるいは異物の種類ごとの代表的な画像とその分類情報を事前あるいは同時に電子情報として保存し、欠陥あるいは異物の分類作業時に操作画面に表示し保存画像と観察画像を比較して分類情報を決定するものである。
請求項（抜粋）：
試料の異常部の有無を検査する異常検出装置から試料の付属情報や異常部の座標位置,異常部の大きさが含まれた検査結果を取得する手段と、その検査結果に基づいて視野を前記試料の異常部存在領域に設定する視野設定手段と、異常部を観察する手段と、観察した画像を保存する手段と、観察した試料上の異常部に異常部判別情報を持たせる手段を有するレビュー装置において、異常部判別情報ごとの異常部参照画像リストと現在観察している試料の異常部像を同時に表示することを特徴とするレビュー装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 645 A
, G01N 21/88 620
, G06F 15/62 405 A
2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051EC01
, 2G051FA01
, 5B057AA03
, 5B057BA23
, 5B057CD05
, 5B057DA04
