特許

J-GLOBAL ID：200903003435009152

自動コンテナ

発明者： フランソワ・ウーザイ ,  ジヤン-マリー・モワソン ,  イヴ・ニツシン
出願人/特許権者： フランス・テレコム・エタブリセマン・オートノム・ドウ・ドロワ・パブリツク
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099140
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 真空処理、特にエレクトロニックス分野に用いられる集積回路のような電気的またはマイクロエレクトロニックス用素子の生産における真空処理装置を提供する。【構成】 自動コンテナ1は、対象物10を真空中において一つのステーションから他のステーションへ移すためのもので、対象物の取り扱いと自動供給源によって提供されたポンプ手段5とによって真空を維持し、対象物の除去および導入のための開口部7を有し、密閉型格納器4内において対象物を処理するための手段と、電気的コンダクタ8が密閉型格納器を通過することを許すために密閉軸受筒7と、対象物を観察するためにある波長を透過するビューイングシールディングウィンドウ12と、そしてワーキングステーション3へ移動させるためにロック2へコンテナ1を固定させるための手段とからなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

一連のオペレーション・プロセスにおいて処理されるべき対象物(10)を真空中において一つのステーションから他のステーションへ移すためのもので、かつ前記対象物(10)の取り扱いのための手段と自動供給源によって提供されたポンプ手段(5)とによって真空を維持し、前記対象物(10)の除去および導入のための開口部(7)を有する自動コンテナ(1)であって、該コンテナは、密閉型格納器(4)内において前記対象物(10)を処理するための手段と、前記処理手段によって必要とされる少なくともひとつの電気的コンダクタ(8)が前記密閉型格納器(4)を通過することを許すために前記密閉型格納器(4)を通る少なくともひとつの密閉軸受筒(7)と、前記対象物(10)を観察するためにある波長を透過するビューイングシールデイングウインドウ(12)と、そしてワーキングステーション(3)へ前記対象物(10)を移動させるためにロック(2)へ前記コンテナ(1)を固定させるめの手段とからなることを特徴とする自動コンテナ。

IPC (2件)：

F04B 37/16 ,  F17D 3/00