特許
J-GLOBAL ID：200903003435041757
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-255165
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094847
出願日： 1997年09月19日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】除去すべきノイズ成分のみを完全に除去することによって、実際の試料表面情報を高精度に検出することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】測定対象物に規定された所定の走査ラインに沿って測定対象物と探針とを相対的に複数回走査した際、測定条件の異なる複数のラインデータ2を取り込む取込手段4と、複数のラインデータ2に周波数分析を施すことによって、各ラインデータ2に夫々含まれているノイズ成分を抽出する周波数分析手段6と、複数のラインデータ2からノイズ成分を除去するノイズ除去手段8と、ノイズ成分が除去された複数のラインデータ2に所定の演算処理を施すことによって、測定対象物を画像化する画像化手段10とを備える。
請求項（抜粋）：
測定対象物に規定された所定の走査ラインに沿って前記測定対象物と探針とを相対的に複数回走査した際、測定条件の異なる複数のラインデータを取り込む取込手段と、前記複数のラインデータに周波数分析を施すことによって、これら複数のラインデータに夫々含まれているノイズ成分を抽出する周波数分析手段と、前記複数のラインデータから前記ノイズ成分を除去するノイズ除去手段と、前記ノイズ成分が除去された前記複数のラインデータに所定の演算処理を施すことによって、前記測定対象物を画像化する画像化手段とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
