特許
J-GLOBAL ID：200903003436564567
表面弾性波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248027
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090893
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 表面弾性波の反射および散乱等を入射させ、表面弾性波の伝播損失を低減することのできる表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層2の一部を水素化処理などによって導電化することにより、くし型電極3を形成する。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド層と、ダイヤモンド層上に形成される圧電体薄膜と、特定の波長の表面弾性波を発生させこれを取出すための1対の電極とを備える表面弾性波素子において、前記電極の少なくとも一方が、前記ダイヤモンド層の一部を導電化処理することにより形成されていることを特徴とする、表面弾性波素子。
IPC (2件)：
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