特許

J-GLOBAL ID：200903003437299239

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 河辺 保雅
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-265557
公開番号（公開出願番号）：特開2002-072481
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、ラインエッジラフネス、レジスト形状、感度、解像力が優れるとともに、現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)一分子中に少なくとも4つのフッ素原子を有し、炭素数が4から20で分子量が1000以下の脂肪族カルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸、(D)含窒素塩基性化合物、及び(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)一分子中に少なくとも4つのフッ素原子を有し、炭素数が4から20で分子量が1000以下の脂肪族カルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸、(D)含窒素塩基性化合物、及び(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/16 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/16 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (34件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BG071 ,  4J002BK001 ,  4J002CE001 ,  4J002EF037 ,  4J002EF067 ,  4J002EN048 ,  4J002EN068 ,  4J002EN136 ,  4J002EN138 ,  4J002EU048 ,  4J002EU068 ,  4J002EV248 ,  4J002EV296 ,  4J002EW176 ,  4J002FD319 ,  4J002GP03