感光性樹脂組成物及び耐熱性レリーフポリマパターンの製造法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-224043
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068802
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】光硬化性と解像性に優れ、熱処理後の膜減りが少なく、耐熱性に優れた感光性樹脂組成物及び耐熱性、機械特性及び電気特性に優れた耐熱性レリーフポリマパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (A)含窒素複素環を含む繰り返し単位を有する高分子、(B)オレフィン系二重結合を有する有機カルボン酸又はオレフィン系二重結合を有する有機スルホン酸のうち少なくとも一つの化合物及び(C)光重合開始剤又はアジド化合物のうち少なくとも一つの化合物を含有する感光性樹脂組成物並びに(1)前記感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、乾燥する工程、(2)フォトマスクを介し光照射を行う工程、(3)現像液による現像する工程及び(4)熱処理工程を行うことを特徴とする耐熱性レリーフポリマパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(A)含窒素複素環を含む繰り返し単位を有する高分子、(B)オレフィン系二重結合を有する有機カルボン酸又はオレフィン系二重結合を有する有機スルホン酸のうち少なくとも一つの化合物及び(C)光重合開始剤又はアジド化合物のうち少なくとも一つの化合物を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/038 504 , C08L 33/02 LHR , C08L 79/04 LRA , G03F 7/008 , G03F 7/027 512 , G03F 7/031 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (10件)：

G03F 7/038 504 , C08L 33/02 LHR , C08L 79/04 LRA , G03F 7/008 , G03F 7/027 512 , G03F 7/031 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-198747
特開昭59-068332

前のページに戻る