特許
J-GLOBAL ID：200903003438546272
バイアホール検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165161
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003129
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 バイアホール検査方法に関し,バイアホール内に薄いポリイミド膜の残渣がある場合でもバイアホールの面積検査を可能にすることを目的とする。【構成】 検査対象物に照射した収束レーザ光を走査するときに発生する蛍光を検出し,検出された蛍光信号を該蛍光信号の中央付近のレベルでスライスして2値化したパターン1と,該パターン1とバイアホールの位置データおよびステージ位置データを用いてバイアホールの有無を判定し,形状検査論理回路を用いて該パターン1の形状の良否を判定し,該蛍光信号の前記パターン1のスライスレベルより低い領域を多値化したパターン2を求め,該多値化したパターン2の総和Sと予め設定された基準値Smax とを比較し,S>Smax あるいは S≧Smax ならば欠陥と判定するように構成する。
請求項（抜粋）：
検査対象物に照射した収束レーザ光を走査するときに発生する蛍光を検出し,検出された蛍光信号を該蛍光信号の中央付近のレベルでスライスして2値化したパターン1と,該パターン1とバイアホールの位置データおよびステージ位置データを用いてバイアホールの有無を判定し,形状検査論理回路を用いて該パターン1の形状の良否を判定し,該蛍光信号の前記パターン1のスライスレベルより低い領域を多値化したパターン2を求め,該多値化したパターン2の総和Sと予め設定された基準値Smax とを比較し,S>Smax あるいはS≧Smax ならば欠陥と判定することを特徴とするバイアホール検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
