特許

J-GLOBAL ID：200903003449452717

印刷方法、印刷装置、及び半導体装置

発明者： 郡 利明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077032
公開番号（公開出願番号）：特開2003-266629
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：

【要約】【課題】 良好なスクリーン印刷を行うことができる印刷方法、印刷装置、及び半導体装置を提供することにある。【解決手段】 テーブル13の各角部に4個の吸着部材20を設ける。そして、吸着部材20の上面に形成したノズル孔をメタルマスク11の下面11aに吸着保持させた状態でテーブル13を下方向に移動させ、メタルマスク11の張力が吸着部材20の吸着力より勝ったときメタルマスク11と半導体ウェハ16とが引き剥がされるようにする。

請求項（抜粋）：

複数の開口部が貫通形成された可撓性を有するマスクの一側と印刷対象物とを重ね合わせ、前記マスクの開口部を介してペーストを印刷対象物上に密着させるスキージ工程と、前記印刷対象物と前記マスクとを剥離して前記密着したペーストを同印刷対象物に転写する剥離工程と、を含む印刷方法において、前記剥離工程時に、前記マスクにおける前記印刷対象物との接触面を吸着部材にて吸着して、前記マスクを印刷対象物から引き剥がすようにしたことを特徴とする印刷方法。

IPC (5件)：

B41F 15/36 ,  B41F 15/08 303 ,  H01L 21/60 ,  H05K 3/34 505 ,  H05K 3/34

FI (5件)：

B41F 15/36 A ,  B41F 15/08 303 E ,  H05K 3/34 505 D ,  H05K 3/34 505 E ,  H01L 21/92 604 E

Fターム (10件)：

2C035AA06 ,  2C035FA27 ,  2C035FC04 ,  5E319AA03 ,  5E319AB06 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CC33 ,  5E319CD25 ,  5E319GG09