特許

J-GLOBAL ID：200903003450250397

排ガス処理装置

発明者： 小屋敷 正人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-231719
公開番号（公開出願番号）：特開平9-075651
出願日： 1995年09月08日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 排ガス処理能力を向上することのできる排ガス処理装置を得る。【解決手段】 排ガスが第1のパイプ6を通じて供給される粉塵除去用のフィルター7と、そのフィルター7よりの排ガスが第2のパイプ8を通じて供給され、排ガスを触媒に吸着させるリアクター10とを備える排ガス処理装置において、第1のパイプ6に排ガス処理のための流体を噴出させるノズル4、5を設ける。

請求項（抜粋）：

排ガスが第1のパイプを通じて供給される粉塵除去用のフィルターと、該フィルターよりの排ガスが第2のパイプを通じて供給され、上記排ガスを触媒に吸着させるリアクターとを備える排ガス処理装置において、上記第1のパイプに排ガス処理のための流体を噴出させるノズルを設けたことを特徴とする排ガス処理装置。

IPC (6件)：

B01D 50/00 501 ,  B01D 50/00 ,  B01D 53/46 ,  B01D 53/58 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (7件)：

B01D 50/00 501 K ,  B01D 50/00 501 A ,  B01D 50/00 501 Z ,  C23C 16/44 E ,  H01L 21/205 ,  B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/34 131