特許
J-GLOBAL ID:200903003458319698

銅・銅合金材のための浸漬エッチング液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 板井 一瓏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-191618
公開番号(公開出願番号):特開平7-018472
出願日: 1993年07月06日
公開日(公表日): 1995年01月20日
要約:
【要約】【目的】 従来のエッチング液では黒色スマットを形成し表面清浄化が困難な銅合金材にも有効なエッチング液を提供する。【構成】 過酸化物または過酸塩、およびカルボン酸もしくはその水溶性塩を含有する、銅・銅合金材のための浸漬エッチング液。好ましくは、尿素およびそのN-置換誘導体、チオ尿素およびそのN-置換誘導体、グアニジンおよびそのN-置換誘導体からなる群から選ばれた脂肪族窒素化合物、ならびに、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコールおよびジプロピレングリコールからなる群から選ばれたアルキレングリコールのモノエーテルをさらに含有する。
請求項(抜粋):
過酸化物および過酸塩からなる群から選ばれた酸化剤およびカルボン酸もしくはその水溶性塩を含有することを特徴とする銅・銅合金材のための浸漬エッチング液。
IPC (2件):
C23F 1/18 ,  H01L 21/308
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭61-000591
  • 特開平4-338692
  • 特公昭46-005041
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