特許
J-GLOBAL ID:200903003462186643
真空ポンプにおける軸封構造
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
恩田 博宣 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-149238
公開番号(公開出願番号):特開2001-330155
出願日: 2000年05月22日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】真空ポンプにおけるポンプ室への油侵入を確実に防止すると共に、耐久性に優れた軸封構造を提供する。【解決手段】リヤハウジング14を貫通してギヤ収容室331に突出する回転軸19,20の突出端部192,202にはゴム製のリップシール45,46が配置されている。リップシール45,46は、回転軸19,20の周面に摺接してシール作用をもたらす。回転軸19,20を貫通させるリヤハウジング14上の貫通孔141,142に対応する回転軸19,20の周面にはラビリンスシール193,203が設けられている。
請求項(抜粋):
回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、油存在領域と前記ポンプ室とを隣接させると共に、前記回転軸を貫通させる隔壁と、前記隔壁を貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位の周面上に配置された接触型シール手段と、前記回転軸を貫通させる前記隔壁の貫通孔と、前記貫通孔に対応する前記回転軸の周面の部位との間に介在された非接触型シール手段とを備えた真空ポンプにおける軸封構造。
IPC (7件):
F16J 15/16
, F04B 39/00 104
, F04C 18/18
, F04C 23/00
, F04C 25/02
, F04C 27/00 331
, F16J 15/447
FI (7件):
F16J 15/16 E
, F04B 39/00 104 A
, F04C 18/18 A
, F04C 23/00 E
, F04C 25/02 K
, F04C 27/00 331
, F16J 15/447
Fターム (29件):
3H003AA05
, 3H003AB07
, 3H003AC01
, 3H003AD03
, 3H003BC01
, 3H003BD02
, 3H003BH00
, 3H003CA01
, 3H003CA02
, 3H003CD01
, 3H003CF04
, 3H029AA06
, 3H029AA15
, 3H029AA18
, 3H029AB01
, 3H029AB06
, 3H029BB16
, 3H029CC20
, 3J042AA03
, 3J042AA12
, 3J042BA01
, 3J042CA10
, 3J042DA20
, 3J043AA16
, 3J043BA07
, 3J043CA02
, 3J043CB13
, 3J043DA07
, 3J043HA04
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