特許

J-GLOBAL ID：200903003464991365

圧電共振子の周波数調整方法

発明者： 山本 裕之
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 町田 袈裟治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-027282
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224677
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 周波数調整の加工精度をよくするとともに、不良品の発生を防止し、特性の劣化を防止する圧電共振子の周波数調整方法を提供することを目的としている。【構成】 圧電体セラミックスの基板の上下の両主面に金属膜を形成した後、分極して圧電基板を形成し、上記金属膜の不要部を除去して所要の形状の電極を形成し、対向する振動電極の周波数を測定して周波数を調整する圧電共振子の周波数調整方法において、測定した周波数に対応して振動電極面に蒸着膜を形成することにより周波数を調整することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

圧電用セラミックスの基板の上下の両主面に金属膜を形成した後、分極して圧電基板を形成し、上記金属膜の不要部を除去して所要の形状の電極を形成し、対向する振動電極の周波数を測定して周波数を調整する圧電共振子の周波数調整方法において、測定した周波数に対応して振動電極面に蒸着膜を形成することにより周波数を調整することを特徴とする圧電共振子の周波数調整方法。