特許

J-GLOBAL ID：200903003484498240

感熱式流量センサ

発明者： 安井 克明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-218199
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052624
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 応答性に優れ、特性の安定した感熱式流量センサを得る。【構成】 感熱式流量センサにおいて、膜状の感熱抵抗体6にパターニングライン7を描くことによって電流路を構成し、電流路の折り返し部分に電流の最小回転半径を大きくするような形状の拡大パターン9を設け、また、電流路の屈曲部に電流の最小回転半径を大きくするような緩衝パターン10を設けた。

請求項（抜粋）：

流体の通過によって流速プローブから奪われる熱量に基づいて流体の流速、流量を測定する感熱式流量センサにおいて、流速プローブに絶縁性の基板と、この基板上に着膜され温度によってその抵抗値を変化させる素材よりなる膜状の感熱抵抗体と、電流路を構成するために前記膜状の感熱抵抗体に描かれたパターニングラインと電流路の折り返し部分の内側に当たるパターニングラインの先端に設けられた電流の最小回転半径を大きくするような形状の拡大パターンとを備えたことを特徴とする感熱式流量センサ。