特許
J-GLOBAL ID:200903003487162668

圧電振動子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-118830
公開番号(公開出願番号):特開平8-316770
出願日: 1995年05月18日
公開日(公表日): 1996年11月29日
要約:
【要約】【構成】 振動部分11と枠13の間にスリット15を設置し、振動部分11と支持部分14と枠13が一体構造を形成し、少なくとも一方の振動部分11に溝12を設置することを特徴とする圧電振動子およびその製造方法。【効果】 振動部分のエネルギー閉じこめが可能となり、振動子の諸特性であるQ値、CI値を向上させることが可能となる。
請求項(抜粋):
振動部分と枠の間にスリットを設け、振動部分と支持部分と枠とは一体構造を有し、振動部分に溝を設置することを特徴とする圧電振動子。
IPC (3件):
H03H 9/05 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/19
FI (3件):
H03H 9/05 ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/19 D

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