特許
J-GLOBAL ID：200903003487841220
有機光デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-143659
公開番号（公開出願番号）：特開平10-333191
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 薄膜ヒータを剥離しにくくし、しかも長期信頼性を高くする。【解決手段】 基板21上に有機クラッド層22を形成し、有機クラッド層22中に有機光導波路23および有機光導波路23から分岐した有機光導波路24、25を形成し、有機クラッド層22、有機光導波路23〜25からなる導波部28の表面の有機光導波路24、25の上方部に薄膜ヒータ26、27を形成し、薄膜ヒータ26、27をチタンからなる下層26a、27aと白金からなる上層26b、27bとの2層構成とする。
請求項（抜粋）：
有機材料からなる導波部の表面に薄膜ヒータが形成された有機光デバイスにおいて、上記薄膜ヒータを複数層構成とし、上記薄膜ヒータの最下部層として上記薄膜ヒータの最上部層よりも上記導波部との結合力が大きい金属ならなるものを用い、上記最上部層として上記最下部層よりも空気中で変質しない金属からなるものを用いたことを特徴とする有機光デバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02F 1/313
, G02B 6/12 H
, G02B 6/12 N
