Fe-Ni系シャドウマスク用材料およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111614
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302793
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：

【要約】【課題】エッチング不良によって起こるすじむらやモトリング (全体むら) のない、Fe-Ni系シャドウマスク材料およびその有利な製造方法を提案すること。【解決手段】Ni:34〜38wt%を含有する合金の冷間圧延材を、最終圧延の前に焼鈍温度:900 〜1150°C、均熱時間:5秒〜60秒の中間焼鈍を施し、その後、焼鈍温度:700〜900 °C、均熱時間:60秒〜600 秒の最終焼鈍を施すことにより、(111)極点図における立方体方位(100)<001>とその双晶方位である(221)<212>とのX線強度比が0.5 〜5:1の範囲を示す集合組織を生成させた、Fe-Ni系シャドウマスク用材料とその製造方法。

請求項（抜粋）：

Ni:34〜38wt%を含有し、残部実質的にFeよりなる成分組成を有し、(111)極点図における立方体方位(100)<001>とその双晶方位である(221)<212>とのX線強度比が0.5 〜5:1の範囲にある集合組織を有することを特徴とするFe-Ni系シャドウマスク用材料。

IPC (4件)：

C22C 38/00 302 , C21D 9/46 , C22C 38/08 , H01J 29/07

FI (4件)：

C22C 38/00 302 R , C21D 9/46 P , C22C 38/08 , H01J 29/07 Z

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