特許
J-GLOBAL ID：200903003503241808

表面欠陥検査装置及び制御プログラム記録媒体

発明者：
鎌田 照己

鎌田 照己 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 園田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-074934
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279367
出願日： 2003年03月19日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】光学的手段を用いて、表面の濃度欠陥に加え微小な凹凸および緩やかな凹凸をも同時に検出可能な表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】被検査物表面に一方向から照射するライン型照明手段と、その反射あるいは拡散する光を検出する第1の撮像手段と、副走査により被検査物表面状態を2次元画像として取得する画像入力手段により、第1の撮像手段と被検査物の観測表面とライン型照明手段の相対位置を調整するための光学系調整手段と、被検査物表面にて反射する反射光分布を検出するための第2の撮像手段と、得られた画像に対して反射光分布を演算して反射光位置を特定する反射光位置演算手段と、反射光位置から光学系調整手段の移動位置を演算する移動位置演算手段と、移動位置に光学系調整手段を位置制御する位置制御手段を設け、反射光位置に対して第1の撮像手段を常に一定位置になるように制御する。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
被検査物表面に一方向から照射するライン型照明手段と、その反射あるいは拡散する光を検出する第1の撮像手段と、被検査物を前記第1の撮像手段に対して移動し副走査するための被検査物移動手段と、副走査により被検査物表面状態を2次元画像として取得する画像入力手段と、前記2次元画像を画像処理することによって被検査物の表面欠陥を検出する画像欠陥検出手段によって被検査物表面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、 第1の撮像手段と被検査物の観測表面とライン型照明手段の相対位置を調整するための光学系調整手段と、被検査物表面にて反射する反射光分布を検出するための第2の撮像手段と、前記第2の撮像手段にて得られた画像に対して反射光分布を演算して反射光位置を特定する反射光位置演算手段と、前記反射光位置から前記光学系調整手段の移動位置を演算する移動位置演算手段と、移動位置に光学系調整手段を位置制御する位置制御手段を設け、 反射光位置に対して第1の撮像手段を常に一定位置になるように制御することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01B11/30 ,  G01N21/952
FI (2件)：
G01B11/30 A ,  G01N21/952
Fターム (22件)：
2F065AA49 ,  2F065BB16 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG16 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM04 ,  2F065MM24 ,  2F065PP02 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ29 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EC02
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 特開昭60-228910
  • 特開昭60-228909
  • 特開昭60-228910
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