特許
J-GLOBAL ID：200903003506058125
流体制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051298
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 通路同士の位置関係を考慮することにより、流体の置換が短時間で行われる流体制御装置を提供する。【解決手段】 流体制御装置は、第1通路14とこれに連なりかつ流体制御用機器6 により終端部が閉鎖された第2通路18とを備え、第2通路18に流体が溜まった状態で第1通路14に異なる流体を流すように構成されている。そして、第1通路14が、上流部17およびこれに略直角状に連なる下流部16よりなり、第2通路18が、第1通路14の上流部17の終端からその延長線上にのびるように設けられている。
請求項（抜粋）：
第1通路(14)(31)とこれに連なりかつ流体制御用機器(6)(40) により終端部が閉鎖された第2通路(18)(34)とを備えており、第2通路(18)(34)に流体が溜まった状態で第1通路(14)(31)に異なる流体を流すように構成されている流体制御装置において、第1通路(14)(31)が、上流部(17)(32)およびこれに略直角状に連なる下流部(16)(33)よりなり、第2通路(18)(34)が、第1通路(14)(31)の上流部(17)(32)の終端からその延長線上にのびるように設けられていることを特徴とする流体制御装置。
引用特許：
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