特許

J-GLOBAL ID：200903003513675695

ウエーハプロービング装置

発明者： 五十嵐 均一
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232618
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074885
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】複数のテストを必要とするメモリー等の半導体装置のテスト総合時間を短縮する。【構成】本発明のウェーハプロービング装置は、テスト前に、不良マーキングの有無を認識する為の装置と、このマーキング跡を認識した場合、当該ペレットの電気的測定を行なわず、次のペレットにインデックスを行なう装置を有する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハ上に形成されたペレットの電気的特性を測定する前に、ペレット上にインクやレーザー等で形成されたマーキング跡を確認した場合、当該ペレットの電気的特性の測定を行なわず次のペレットにインデックスを行なう装置を有することを特徴とするウェーハプロービング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-052446
  
• 特開平2-168641
  
• 特開平2-235374