特許

J-GLOBAL ID：200903003517502680

X線反射鏡

発明者： 中村 浩 ,  大谷 正之 ,  村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281862
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100097
出願日： 1991年10月03日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】 X線照射の熱によって多層膜の周期構造が変化しても、所定の波長のX線を反射させることができるX線反射鏡を得る。【構成】 可撓性を有するX線反射鏡の裏面にピエゾ素子を配設し、そのピエゾ素子に印加する電圧を制御することで、X線反射鏡の形状を変化させるようにした。

請求項（抜粋）：

可撓性を有するX線反射面と、前記X線反射面の裏面に配設されたピエゾ素子と、該ピエゾ素子に印加する電圧を変化させる電圧制御手段とを有することを特徴とするX線反射鏡。