特許

J-GLOBAL ID：200903003520216698

半導体製造装置の電磁コイル冷却構造および半導体製造装置

発明者： 堀岡 啓治
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335330
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142456
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】 電磁コイル部の断面積の縮小化を図ることができる半導体製造装置のコイル冷却構造および半導体製造装置を提供する。【解決手段】 磁気発生装置6は、支持台の上面に対して略平行な磁場を形成する主電磁コイル部7と、各主電磁コイル部7と略同一の軸上に配置され、主電磁コイル部7により形成される磁場とは逆向きの磁場を形成する補助電磁コイル部8とを有している。電磁コイル部7,8の電磁コイル12は、熱伝導性を有する材質からなるコイル収容部材13に収容されている。コイル収容部材13は、第1プレート14と、この第1プレート14の一面から平行に延在した複数の第2プレート15とからなっている。第1プレート14における第2プレート15側とは反対側の面には、冷却水を供給するための冷却配管16が接合されている。この冷却配管16内を流れる冷却水によって電磁コイル12が冷却される。

請求項（抜粋）：

反応容器内に配置され基板を支持する支持部材と、前記反応容器内にプラズマを形成するプラズマ形成手段と、前記支持部材の上面に対して略平行な磁場を形成して前記プラズマの形成を促進させる複数の電磁コイル部とを備えた半導体製造装置の電磁コイル冷却構造であって、熱伝導性を有する材質で形成され、前記電磁コイル部の電磁コイルを収容するコイル収容部材と、前記コイル収容部材に取り付けられ、冷却用物質を供給するための冷却配管とを備える半導体製造装置のコイル冷却構造。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  H05H 1/46 L ,  H01L 21/302 B

Fターム (7件)：

5F004BA04 ,  5F004BA08 ,  5F004BB07 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EH16 ,  5F045EJ01