特許

J-GLOBAL ID：200903003524604854

液体塗布評価方法および装置

発明者： 森 義明 ,  小池 孝 ,  宮川 拓也 ,  ▲高▼木 憲一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-116115
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325087
出願日： 2003年04月21日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】ノズルから吐出された液滴が実際の速度で基板表面に着弾する際の挙動及び、着弾後の挙動並びに基板表面との接触角を評価する。【解決手段】ノズル12から吐出される液滴16が基板18に着弾時した際の挙動及び着弾後の挙動及び接触角を評価する方法であって、複数のCCDカメラ14を用いて、複数箇所から直接液滴16の撮影を行う。前記のようにして着弾時及び着弾後の液滴16を撮影して画像データを取得する。当該画像データに基づき前記着弾時及び着弾後の液滴16の挙動を立体画像として表現し、前記立体画像より液滴16の挙動及び接触角について評価を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ノズルから吐出された液滴の基板着弾時及び着弾後の挙動を把握する方法であって、前記基板に着弾した前記液滴を、複数箇所から直接または間接に撮影して画像データを取得し、当該画像データに基づいて、前記液滴の挙動を立体画像として表現することを特徴とする液体塗布評価方法。

IPC (3件)：

G01N13/00 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00

FI (3件)：

G01N13/00 ,  B05C11/00 ,  B05D3/00 D

Fターム (25件)：

2F065AA32 ,  2F065BB07 ,  2F065BB22 ,  2F065BB24 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075EA07 ,  4D075EA33 ,  4D075EA45 ,  4D075EB39 ,  4F042AA02 ,  4F042BA03 ,  4F042BA04 ,  4F042BA10 ,  4F042DH09